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洁净车间高纯气体管道的安装、施工博猫游戏平台

  干净厂房普遍用于电子、生物医药、精细化工、细密机械、食物、化妆品等产物的出产中,分歧产物的出产过程中,对所用高纯度气体的品种、纯度,以及气体中答应的杂质浓度或气体的质量要求差别很大。例如半导体工业,所用气体品种多,要求出格严酷。

  (3)各类阀门应正在安拆前清洗,清洗前先应研磨、试压及格,然后拆成零部件,并正在三氯乙烯或四氯化碳溶剂中浸泡1~1.5h。平安阀清洗后该当从头试压。

  干净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及实空管道,其具体的安拆要求可参考《干净室施工及验收规范》(JGJ 71-1990)的相关。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%,含水量小于5×10-4%的气体。

  a焊接。高纯、高干净气体管道,准绳上采用焊接,但不克不及间接对焊,应采用套管接头。

  (1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质次要有:a低碳不锈钢。大流量高纯、高干净气体准绳上全数采用低碳不锈钢管。b铜管。正在半导体企业中,个体出产工艺如砷化镓的操做,为了防止发生器件电阻,不答应利用铜制管及其附件,只能利用不锈钢材料。

  (1)无论多大压力、何种介质及何种用处的配管,下料时均不得采用氧、乙炔焰切割。无论是机械或手工下料,分段处不得涂抹油脂或利用润滑剂。

  (6)氧气管的阀门、附件等,该当严酷禁油,并正在安拆前按相关要求严酷脱脂。

  b螺纹毗连。螺纹毗连的气密性不如焊接的好,不合用于高纯、高干净气体管毗连。螺纹毗连利用的密封填料残渣有带入气体的,并且表里螺纹旋紧时,金属间的摩擦会发生金属粉尘粒子,污染气体。

  高纯度、高干净气体管道的施工分歧于一般工业管道,稍有疏忽便可能气体的质量。因而,要理解安拆气体质量的严沉意义、要求严酷恪守设想、施工要求,工做庄重认实、敷衍了事,高度注沉各个藐小环节,建成合适要求的管系统。要求做到以下几个方面:

  c法兰毗连。螺纹或法兰毗连处的密封材料应采用聚四氯乙烯,为确保密封结果,正在垫片上涂敷少量氟橡胶。

  (1)管道系统的管材、阀门及所有附件,严酷设想要求选用,不得随便更改或代换。

  管附件的材质的选用准绳应取管材的选用准绳分歧。正在采用铜材的管系统中,能够利用不锈钢材质的管道附件;但正在不锈钢材质的管系统中,不容利用铜制材料的管道附件。前往搜狐,查看更多

  (5)采用通俗不锈钢管时,其概况若粘附有油污,安拆后清洗好不容易,该当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工做,必需断根掉的锈蚀部门而不损害未锈蚀的概况。