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高纯电子气体研发与产业化

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  博猫登录,【手艺特点】电子气体做为一种很是主要的半导体材料,而此中杂质含量的凹凸不只反映了出产过程的操做程度,并且对下逛出产过程的工艺操做、设备运转甚至产质量量都将发生主要的影响和限制感化。跟着电子手艺向高机能、多功能、大容量、微型化和批量化标的目的的成长,对高纯气体提出了更高的手艺要求 ,更主要的是对干净度提出了苛刻的要求。本项目处理的环节手艺为:

  【手艺简介】我国对于超纯度电子气体的研究前后履历了20多年的勤奋,开辟出了一批特种气体,能够根基满脚中小规模集成电用的气体,但对于超大(VLSI)和特大(ULSI)规模集成电的用气仍然存正在手艺空白,特别是纯度跨越6N的气体全数依托进口来处理。

  本项目标实施,将从底子上改变当前我国高纯电子气体严沉受制于国外的现状,加强产物正在国际市场上的合作力。同时,项目718所积极努力于摸索出一条高纯电子气体供应商取半导体系体例制企业之间的全新的合做模式,让半导体企业正在平安共赢的前提下去支撑和帮帮国内具有自从学问产权的高纯电子气体财产快速成长,从而使我国半导体财产健康有序地成长。项目研发涉及的高纯电子气体虽然各不不异,但正在合成工艺和纯化工艺上有很多环节共性手艺,正在本项目实施过程中,718所将出力进行共性手艺的研发和冲破,打算研发的环节共性手艺次要有:制备高纯电子气体的大功率电解手艺,高纯电子气体的深度纯化手艺,高纯电子气体的净化手艺的研究以及高纯电子气体阐发检测手艺。

  (1)纯化手艺。正在产物分手过程中,我们按照原猜中含有杂质的品种、浓度对吸附剂做物理和化学处置,成功地将干性吸附剂使用正在提纯工艺中,提高吸附剂的吸附选择性,具有吸催化两种功能。这正在国内平易近用范畴应尚无先例。

  【手艺目标】六氟乙烷纯度达到99.9993%,产能达到50吨/年;八氟丙烷纯度达到99.9995%,产能达到30吨/年;八氟环丁烷纯度达到99.9993%,产能达到50吨/年;四氟化硅纯度达到99.999%,产能达到50吨/年;氟化氢纯度达到99.999%,产能达到30吨/年;氯化氢纯度达到99.999%,产能达到50吨/年;六氟化钨纯度达到99.999%,产能达到150吨/年;碳酰氟纯度达到99.9%,产能达到30吨/年;三氟化氯纯度达到99.9%,产能达到50吨/年;高纯电子夹杂器产能达到10000瓶/年。

  【预期效益】本项目完成后,我单元将成为我国最大的高纯电子特种气体研发取出产,年产各类高纯电子气体2000余吨,新增5亿元摆布的年发卖收入,使我国高纯电子气体的出产能力进入世界前列,同时带动集成电、化工、机械、液晶面板制制、太阳能等上下逛企业的成长,为我国半导体财产的成长供给帮力。

  (5)高纯夹杂气体配制系统研发。目前国内半导体企业利用的高纯夹杂气体大都是进口,本项目正在实施过程中,打算开辟出纯度高、不变性好的夹杂配气系统和安拆,出产出适合用户要求的夹杂气产物,逐渐替代进口产物。