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高纯硅烷中痕量CO、CO2、H2O色谱分析

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  本文论述高纯SiH4 中痕量杂质的色谱阐发前提、安拆及流程。通过弱极性无机担体柱无效地将PPM硅烷中级杂质取从组份分手。分手后的从组份经氢氛围下高温还原和电石生成烃类, 送高FID活络检测, 当进样量为1毫升, 记实仪为1毫伏(250毫米)时, 本试验所得活络度,CO.0.15vpm/min 。CH4 0.08vpm/, ,(样品间接送FDI检测活络度)。CO2.0.5vpm/min ,H2O 0.3vpm/min 同时,确定了较对劲的阐发操做参数, 提出了响应的阐发流程。